化學機械金屬拋光液已成為公認的納米級精密超精密加工技術。切削液廠家它是一個動態(tài)的微細加工過程，在該過程中，化學拋光液中的組成成分與工件發(fā)生反應，在工件加工表面形成一層很薄、結合力較弱的生成物；而拋光液中磨粒在壓力和摩擦作用下對工件表面進行微量去除。此外，拋光過程化學拋光液還通過在拋光區(qū)域形成流體膜以及帶動磨粒在拋光區(qū)運動影響拋光過程。所以，化學拋光液在化學機械拋光過程中，在很大程度上決定著化學機械拋光能獲得的拋光表面質量和拋光效率。

　　化學機械拋光液一般由去離子水、磨料、ph值調節(jié)劑、氧化劑以及分散劑等添加劑組成，根據ph值不同，分為酸性和堿性。

化學拋光液及其組分的作用

　　1 磨料

　　磨料在拋光過程中主要通過微切削、微劃擦、滾壓等方式作用于工件被加工表面，去除表面材料。最理想的化學機械拋光過程是磨料的機械去除表面材料厚度等于化學反應生成物層厚度，此時，磨粒只需較小的機械作用去除結合力較弱的化學反應層的生成物，可減少或避免拋光表面缺陷。磨料的硬度、粒徑、形狀及其在拋 光液中的質量濃度等綜合因素決定了磨粒的去除行為和能力。

　　磨料相對工件的硬度對磨料的作用機制有著重要影響。當磨粒硬度相對工件太大時，在拋光壓力作用下很容易導致磨粒嵌入工件表面，在拋光表面殘留 劃 痕、磨蝕坑；磨粒硬度相對于工件太小時，又會延長加工時間。研究表明拋光過程中納米磨料所發(fā)生的自身變形量與磨料的硬度成反比，硬度低的納米磨料由于自身變形量大，其切入工件的深度小，工件拋光表面粗糙度低。

　　磨料在粒徑大小可影響到磨粒的壓強及其切入工件的深度。一般來說，在拋光過程中，粒徑大的磨粒壓強大，機械去除作用較強，材料去除率較高。所以粒徑較大的磨粒容易在拋光表面產生較大的殘留劃痕甚至殘留裂紋；而粒徑較小的磨?？色@得較好的拋光表面質量。另外在磨粒直徑相同的情況下，球形磨粒比表 面不平的磨粒去除效率更高。

　　2 ph值調節(jié)劑

　　拋光液中常常添加一些化學試劑用于調節(jié)拋光液的ph值，以保證拋光過程化學反應的進行，化學機械拋光拋光液一般分為酸性和堿性兩大類。

　　酸性拋光液最早是由化學腐蝕液改進而來的，具有溶解性強、氧化劑選擇范 圍大、拋光效率高等優(yōu)點，常用于金屬材料的拋光。酸性拋光液的ph值一般為4左右，可通過加入有機酸作為ph調節(jié)劑。其缺點是腐蝕性強，對拋光設備要求高 ，選擇性較低，但是可加入抗蝕劑苯并三唑來提高其選擇性，不過bta的引入會影響拋光液的穩(wěn)定性。

　　堿性拋光液具有選擇性高、腐蝕性弱等優(yōu)點，一般用于非金屬材料的拋光。 堿性拋光液的ph值往往在10~11.5范圍內，常采用添加無機堿作為ph值調節(jié)劑，但其不足之處是在堿性溶液中很難找到氧化性強的氧化劑，因而拋光效率很低

　　3 氧化劑

　　在拋光過程中，為了能夠較快地在拋光表面形成一層結合力弱的氧化膜，有利于后續(xù)的機械去除，常常會在拋光液中添加氧化劑。在氧化劑的氧化腐蝕和磨料的研磨共同作用下，被加工表面可達到高質量的全局平坦化效果。

　　不同的氧化劑對工件的氧化效果不同。一般來說，雙氧水在拋光液中不能穩(wěn)定地存在，但添加氯化亞鐵可增強其穩(wěn)定性；二氧化錳作為氧化劑的拋光效果最差，高錳酸鉀的最好。

　　氧化劑的濃度也會對拋光效果產生影響。氧化劑濃度增加，氧化膜厚度會變大，材料的去除率反而會減少。